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비접촉 면저항 측정기

Non contact sheet resistance

  • 시설장비활용번호 : KISTJB000020
  • 시설장비등록번호 : NFEC-2018-05-243595
  • 활용범위 : 공동활용서비스
  • 활용대상 : 기관외부활용
  • 예약방법 : 실시간예약
  • 관심장비등록 카달로그 메뉴얼
문의번호 ( KIST 전북분원 )
  • 예약문의 02-958-6255
  • 장비문의 02-958-6255
  • 장비활용중개소
    (ZEUS)
    1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
  • 이용요금
  • 이용료 안내
  • 이용방법
  • 제작사명 Kitec
  • 모델명 M-RES 5210D-400
  • 구축일자 2018-04-19
  • 사용용도 none
  • 탄소공정 시험/평가
  • 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
  • 6대 탄소소재 탄소섬유 ,활성탄소 ,인조흑연 ,카본블랙,탄소나노튜브,그래핀
  • 설치장소 나노탄소소재실용화지원센터
사용/활용예
  • 사용/활용예 1. 탄소소재, ITO, Glass, SiC W/F type 등의 전도성 시료의 표면저항 측정2. Film, foil 등 flexible한 전도성 시료의 박막 코팅 후 표면저항 측정3. 나노탄소소재 등 전도성 물질이 복합된 고분자복합체의 표면저항 측정4. 측정시료의 저항 uniformity 평가를 통한 시편 또는 제품 신뢰성 평가
  • 장비설명 비접촉 면저항 측정장비는 와전류 방식의 sensor를 이용하여 시료의 표면에 접촉을 하지 않고 비접촉으로 면저항을 측정 할 수 있는 장비로써, 다양한 형태 및 크기의 시료를 측정하기 위해 gantry type의 와전류 sensor, 시료의 고정 및 측정을 할 수 있는 대형 stage, X, Y, Z moving이 가능한 control unit, 그리고 data를 처리 할 수 있는 S/W로 구성되어 있음.
  • 구성 및 성능 1. 구성- Maing system : Gantry type의 와전류 sensor (Dual + 1 sensor)- Stage (Vacuum stage)2. 성능- Sensor moving : X, Y, Z control- Measurement range: 0.001 ~ 1000 Ω/sq- Stage size: 400 X 500 mm- Auto mapping S/W- 2D unformity graph S/W