장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 063-219-8145
- 장비문의 063-219-8145
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 Heidelberg Instruments
- 모델명 MLA100
- 구축일자 2016-09-13
- 사용용도 none
- 탄소공정
- 5대수요산업 에너지환경 ,라이프케어 ,건설
- 6대 탄소소재 탄소섬유 ,활성탄소 ,인조흑연 ,카본블랙,탄소나노튜브,그래핀
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 본 장비는 기판 위에 마이크로 패턴을 형성할 때 사용하는 장비임. 기존 사진공정 장비와 다르게 마스크를 사용하지 않고 자외선 모듈이 스캔하여 그림을 그리는 방식으로 패턴함. 본 장비를 활용하여 얻을 수 있는 최소선폭은 약 1 마이크로미터이며, 그레이스케일 노광모드를 사용하면 3차원 성형이 가능함. 한국과학기술 연구원 전북분원 복합소재기술연구소에서는 본 장비를 이용하여 기본적인 마이크로 패턴을 구현하고, 다양한 복합소재를 3차원 패턴으로 성형하여 그 특성을 연구함
- 장비설명 Designed with focus on high performance at an affordable price, the MLA100 is the perfect lithography solution for many R&D applications. The optical system is designed to write structures down to 1 μm at a speed of 50 mm²/min directly into photoresist, without the need for a photomask.
- 구성 및 성능 1. Direct writing System (1) Basic equipment - Stage system with linear motors, air bearings, linear encoder position control, and vacuum chuck for various substrate sizes : Maximum substrate size: 6” x 6” : Minimum substrate size: 5 x 5 mm² : Maximum write area: 125 x 125 mm² : Substrate thickness: 0.1 to 6 mm : Encoder resolution: 10nm ~ 30 nm - Optical system including highly reflective mirrors and digital mirror device for the exposure of structure with minimum dimension of 1um - Draw Exposure Mode - Intensity Measurement Unit for exposure dose calibration - Overview camera for fast and easy pre-alignment - Real time air-gauge autofocus with dynamic range : 50 um ~ 100 μm - System control electronics for encoders, stage, autofocus system and real time pixel generator - Camera system for high accuracy alignment to existing structures - Basic gray scale exposure mode - State of the PC for system control and data conversion - System control software and graphical user interface (MS Windows) - Conversion software for DXF, CIF, GDSII, and Gerber files for binary exposures and BMP or DXF for gray scale (2) LED light Module For exposure of standard positive and negative photoresist - LED wavelength: below 405 nm - Output power: 10 W - Typical lifetime: >10,000 hrs
