장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 063-219-8245
- 장비문의 063-219-8245
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 FEI
- 모델명 모델명 없음
- 구축일자 2015-07-07
- 사용용도 none
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
- 6대 탄소소재
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 한국과학기술연구원 전북분원
사용/활용예
- 사용/활용예 본 극초저온 초점 이온빔 주사전자현미경(Cryo dual beam SEM)은 극초저온(-175°)에서 고분자 복합재 및 BIO 시료의 손상 없이 표면에 대한 정확한 미세구조 분석이 가능하며, 빔에 의한 손상이 심한 고분자 복합재 및 BIO 시료의 TEM시편제작에 사용할 수 있음.KIST 전북분원에서는 다음과 같은 용도로 본 장비를 활용 가능함.- 높은가속전압(30㎸)에서 극초저온(175℃)으로 고분자 복합재 및 BIO시편의 손상없이 구조 분석.- 고분자 복합재 및 BIO시편을 극초저온 FIB를 이용하여 단면 및 TEM 시편 제작 가능.- ABS/CBS detector를 이용하여 원자번호에 따른 contrast차이로 시편의 BSE 검출 가능.
- 장비설명 본 장비는 Cryo System으로 극초저온(-175℃)을 이용하여 빔에 의한 손상이 심한 BIO시료 및 고분자 재료의 단면 분석과 Pt, Carbon deposition을 이용하여 더욱 다양한 복합재의 TEM 시편제작에 유리하다. 또한 보다 더욱 강력해진 CBS Detector를 이용하여 Z contrast 차에 의한 시편간의 contrast 차이를 더욱 뚜렷하게 나타내어 다양한 복합재의 구분이 가능하므로 고분자 복합재 및 BIO시편 제작 및 미세구조 분석장비임.
- 구성 및 성능 SEM : Nicole Column- Resolution : 1.6 nm (at 1kV and 15kV)- current : 1pA ~ 400nA- Sample stage : 0° ~ 90°- Detector : ETD / T1, T2, T3 / ABS, CBSFIB : SidewinderHT Column- Resolution : 3.0 nm (at 30kV)- current : 1.5pA ~ 65nAAccessaryRotate Easy Lift, Plasma CleanerCryo-SEM preparation system(Quorum Technologies)
