장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 063-219-8155
- 장비문의 063-219-8155
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 Panalytical
- 모델명 X`Pert PRO MRD
- 구축일자 2014-09-26
- 사용용도 none
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
- 6대 탄소소재 탄소섬유
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 본 장비는 신소재, 물리, 회학, 반도체, 재료공학, 금속, 고분자, 나노 등 기초소재 연구를 하는 장비로서 고체, powder, 나노물질, 고분자 물질 및 의약물질 결정구조를 비파괴 방법으로 측정하는데 필요한 장비임.
- 장비설명 XPert PRO Materials Research Diffractometer 는 다음과 같은 용도를 위한 X-ray 회절에 사용 가능한 가장 유연성 있는 시스템. -고급 재료 과학 및 나노 기술 -반도체 공정 개발에 있어 계측적 특성 규명 이 제품은 광범위한 응용분야를 처리할 수 있으며, 특히 아래와 같은 박막 분석 응용에 적합하다. -로킹 커브(rocking curve) 분석 및 역격자 공간 맵핑(reciprocal space mapping) -반사광 측정(refrectometry) 및 박막의 상 분석 -잔류 응력 및 구조 분석 -In-Plane을 위한 XPert PRO MRD 시스템을 사용하면, 시료 표면에 수직인 격자 평면으로부터의 회절을 측정 가능 -XPert PRO MRD는 X-ray mirror와 고해상도 단색화 장치(monochromator)를 일렬로 장착할 수 있어서, 입사 광선의 강도를 증대시킴. -XPert PRO MRD XL은 반도체, 박막, 고급 재료 분야의 모든 고해상도 XRD 분석
- 구성 및 성능 Each sample stage will be easily replaceable each other within couple of minutes without re-alignment. 1) Enclosure-Exterior dimensions : 1400(w)*1162(d)*1947(h)mm. -Accessibility of interior : 1360(w)*1100(h)-Weight : 1050kg(2310lbs)-X-ray safety : Less then 1 microSievert per hour,measured at 10cm distance, determined with a Mo source@60kV, 50mA-Compressed air supply : House line, compressor or air bottle;2~5bar-Powder supply : Single phase 180~253V; 47~63Hz2) X-ray Tube-X-ray generator : 4kW(max.60kV, max 100mA)-Tube voltage : 15~60kV-Tube current : 5~60mA-Focus size : 0.4mmx12mm(LFF), 2mmx12mm(BF)3) Beam optics-One body optic composed of parallel beam mirror and divergence slit set-Hybrid Monochromator(Multi layer mirror+channel cut monochrometer crystal in one module-Beam divergence : 25" (0.007?-Beam height : 1.2 mm -Channel-cut : Ge(022) monochromator 2 bounce-Mirror : Multi-layer X-ray mirror4) Detector-Detector size : 256x256pixels-Pixcel size : 55umx55um-Background noise : <0
