장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 063-219-8143
- 장비문의 063-219-8143
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 싸이엔텍
- 모델명 SCEN-AN-2S-1500
- 구축일자 2014-12-30
- 사용용도 none
- 탄소공정 가공
- 5대수요산업 방산·우주·항공
- 6대 탄소소재 그래핀
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 - 고체/액체/기체의 소스를 이용한 다양한 탄소소재 합성 및 탄소 외 이종원소 도핑 (-N, -P, -B, -I 등) 합성이 가능- 전기로가 2단으로 구성되어 있어 협소한 공간에서 각각의 전기로를 별도로 운전할 수 있음- 다양한 탄소재료의 열처리 (그래핀, 탄소섬유, 탄소나노튜브 등)- SiC, 화합물 웨이퍼 (~ 2.5 inch) 또는 일반 열처리 평가 등
- 장비설명 - 1100℃/1500℃에서 시료의 열처리 및 신 물질 (Graphene과 같은 탄소물질 등) 합성을 위한 장비.- 공정 중 온도를 급격히 올릴 수 있으며 (1000℃/35min) Furnace의 이동이 가능하여 급격히 온도를 내릴 수 있는 장치.- 가스 량을 SCCM 단위로 조절이 가능하며 기체/액체/고체 소스 사용이 가능.- 진공 및 대기압 상태에서 탄소물질 합성이 가능. 진공을 유지하기 위해 leak test (1 x 10-10 mbar/sec)까지 이루어지며 진공측정을 위한 게이지와 대기압 실험을 위한 안정장치로 구성되어 있음.
- 구성 및 성능 - Pump: Rotary Oil pump- Base pressure: ~10-3 Torr- Max. temp.: Upper furnace (1,500℃), Lower furnace (1,100℃)- Heating method: Furnace- Gas: Ar, CH4, H2, O2- Gas input/output line: 1/4``- Tube: Upper furnace (Alumina, Φ 50*1200 mm), Lower furnace (Quartz, Φ 75*1200 mm)- Mass flow controller (MFC) 4 ea, Source heater
