장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 063-219-8142
- 장비문의 063-219-8142
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 Ulvac
- 모델명 LaserPIT-M2
- 구축일자 2014-12-16
- 사용용도 none
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 에너지환경 ,라이프케어
- 6대 탄소소재 탄소섬유 ,활성탄소 ,인조흑연 ,카본블랙,탄소나노튜브,그래핀
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 필름 및 시트 면방향 열전도성 평가가 가능한 장비는 전세계적으로 2~3 종류 안팎인데, LaserPIT 장비는 기판 위에 증착된 박막의 경우 100 nm~10 μm, free-standing 필름에 대해선 3~500 μm 두께 범위에서 시편의 열전도도를 측정할 수 있고, 이는 타경쟁 장비에 비해 압도적인 performance라고 평가되기 때문에 LaserPIT-M2 모델의 구축이 적합함. 따라서, 방열 필름 및 시트 열전도도 평가
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장비설명
○ 레이저 광을 주기적으로 변조해서 전달해 주었을 때의, 가열 영역에서 어느 거리만큼 벗어난 위치에 있어서의 온도응답의 진폭 또 위상차로부터 열확산율을 구하는 방법.
○ 탄소 필러의 우수한 열전도 특성을 이용한 필름 및 방열시트의 면방향 열전도성 평가가 가능한 장비임.
○ 3μm 이상의 필름의 면 방향 (in-plane) 열전도도 측정이 가능며 증착된 박막의 경우 100 nm부터 면 방향 열전도도 측정이 가능함.
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구성 및 성능
○ AC heat source: Laser diode (wavelength 690 nm, output 30 mW)
○ Irradiating position: ±4000 im, in steps of 1 im
○ Frequency: 0.01 to 10 Hz
○ Thermal diffusivity measurement accuracy: ±5 % (thermal diffusivity of a stand-alone sheet sample)
○ Sample size: 30 mm long, 2.5 to 5 mm wide: 3 to 500 im thick (stand-alone sheet sample): 100 nm to 10 im (thin film on substrate)
○ Thermocouple: E type thermocouple (0.1 mm dia.)
○ Atmosphere: Vacuum (below 0.01 Pa)
○ Pumping port: Quick coupling (NW25)
○ Temperature: room temperature to 200oC