장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 063-219-8136
- 장비문의 063-219-8136
-
장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 Thermo Fisher Scientific
- 모델명 ESCALAB 250Xi
- 구축일자 2014-11-12
- 사용용도 none
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 에너지환경 ,라이프케어
- 6대 탄소소재 탄소섬유 ,활성탄소 ,인조흑연 ,카본블랙,탄소나노튜브,그래핀
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 반도체, 화합물 반도체, 금속, 세라믹, polymer, 이차 전지, thin-film (박막), glass, solar cell, paint, LCD, LED, OLED, 촉매, 부식 등의 다양한 시료에서 ◆ valence band 에서 분자들의 energy gap 확인 ◆시료의 표면의 정성 및 정량 분석 ◆ 물질의 화학적 결합상태 확인 (chemical state) ◆ 다층 시료의 계면 및 층별 정성 및 정량분석 ◆ 원소의 분포상태 확인 (by Parralel Image Mapping) ◆ 초박막의 비파괴적 정성 및 정량 분석 (ARXPS)
- 장비설명 탄소기반의 전극, 유무기 반도체와 투명산화물전극의 정성 및 정량 분석에 더불어, 다층막 시료의 두께, 층별 조성분포 및 층간 계면에 존재하는 물질의 화학 결합 상태에 대한 연구에 필요하며, 특히, 원자 2~3개 깊이에서 물질 성분을 측정할 수 있기 때문에 광전소자 제작 및 특성평가.
- 구성 및 성능 Dimensions (W x D x H) [(mm)] : 1900 x 1630 x 2000Performance :UPS, Micro-foucssed Monochromated XPS, ARXPS (Angle Resolved XPS), Depth profiling, PARALLEL XPS Image, ISS, REELS, Preparation chamber and fully automated systemConfiguration : UHV Chamber with pumping system, anlayser, ion source, viewing facilities, data systemEnergy analysis range : 0 to 5,000eV Ultimate Energy resolution (of Ag 3d5/2 peak) : < 0.45 eV FWHM Min. energy setp size : 6 meV Combined Low Enengy Electron / Ion flood source for Charge Neutralisation
