장비통합 검색/신청

장비상세보기

고분해능 분석투과 전자현미경

High Resolution-Transmission Electron Microscope

  • 시설장비활용번호 : KISTJB000163
  • 시설장비등록번호 : NFEC-2014-05-188209
  • 활용범위 : 공동활용서비스
  • 활용대상 : 기관외부활용
  • 예약방법 : 실시간예약
  • 관심장비등록 카달로그 메뉴얼
문의번호 ( KIST 전북분원 )
  • 예약문의 02-958-8144
  • 장비문의 02-958-8144
  • 장비활용중개소
    (ZEUS)
    1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
  • 이용요금
  • 이용료 안내
  • 이용방법
  • 제작사명 FEI
  • 모델명 Titan G2 Cube 60-300
  • 구축일자 2013-10-07
  • 사용용도 none
  • 탄소공정 시험/평가
  • 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
  • 6대 탄소소재
  • 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
  • 사용/활용예 고분해능 투과전자현미경(High resolution transmission electron microscope:HRTEM)은 낮은 가속전압(60kV)에서 탄소재료 및 2D박막재료 (탄소나노튜브 그래핀 탄소섬유 h-BN MoS2 등)의 전자빔에 의한 손상없이 원자 수준의 정보 및 미세구조 분석 화학성분 분석이 가능한 초정밀 분석 장비임. KIST 전북분원은 다음과 같은 용도로 HR-TEM을 활용 가능함.1. 저 가속전압을 이용한 탄소소재 및 이외 물질의 구조분석 (0123 차원 구조)2. 원자수준에서의 재료의 결함 분석과 연구 (Atomic defect)3. 나노빔 전자회절을 이용한 미세영역의 결정성 분석 (Crystal Structure) 4. 탄소소재 또는 연관물질의 화학적 성분 분석(EDX dual-EELS Mapping Image)
  • 장비설명 고분해능 투과전자현미경(High resolution transmission electron microscope; HRTEM)은 탄소 및 2D 박막소재(탄소나노튜브 탄소섬유 그래핀 h-BN MoS2 WS2 등)의 전자빔에 의한 손상없이 낮은 가속 전압(60kV)을 이용하여 원자 수준 정보까지 고 분해능으로 관찰 할 수 있으며 구조 분석 및 화학적 성분 분석이 가능함. 원자 수준(Atomic scale)에서 재료의 결함 유무를 관찰 할 수 있는 소재 분야의 중요한 장비임.
  • 구성 및 성능 Resolution 1. Point Resolution: 0.08 nm or better 2. Information limit: 0.07 nm or better 3. STEM Resolution without Probe Cs: 0.136nm or better 4. STEM Resolution with Probe Cs optionally: 0.07nm or betterSpecimen stage 1. Sample area between the pole pieces should be 5.4 mm or better 2. Range of movement should be +/-1mm in the X-Y plane or better 3. Range of movement should be +/-0.375mm in the Z direction or better. 4. Tilt range should be +/-40 degrees or better. 5. Recall accuracy of the stage should be within 300nm or better Acoustic Enclosure 1. Acoustic damping of 20dBC allowing relaxed acoustic room requirements or better 2. Temperature variation damping allowing peak to peak variations of 0.8캜 or better 3. Easy side door access for sample loading / unloading 4. Easy front door access for plate camera handlingDigital Search and View Camera 1. High frame rate: up to 40 frames / sec or better 2. Automatically adaptable gain large magnification range enabling from looking for a lost