장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 02-958-8144
- 장비문의 02-958-8144
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 FEI
- 모델명 Verios 460
- 구축일자 2013-07-13
- 사용용도 none
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
- 6대 탄소소재
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 재료의 표면 관찰- 저가속 전압 200V에서 sample surface관찰 가능 (sample damage 최소화)- 진공상태의 sample load 가능 (산화 방지 기능)- EDS 부대 장치 이용가능
- 장비설명 기존의 chamber 형식과 동일하지만 quick loader를 장착하여 더욱 빠른 작업이 가능해진 SEM.다른 SEM 에서는 하지 못하는 low voltage(1kV)에서도 sample에 Damage를 덜 입히면서 분석이가능하며 low voltage(1kV)에서도 15kV와 오차범위 0.1nm의 resolution 차이를 보인다.또한 holder를 교체하여 셔틀이라는 다른 홀더로 교체하면 보통 TEM에서 볼수 있는 STEM(Scanning Transmission Electron Microscopy)을 이용하여 분석이 가능하다.
- 구성 및 성능 Resolution @ optimum WD- 0.6nm (at 30kV STEM)- 0.6nm (at 15kV) 0.6nm(at 2kV) 0.7nm (at 1kV)- Prove Current : 0.8pA ~ 100nA- Landing Energy Range : 30kV down to 20VSample Stage : XY = 100 by 100 mm Z>=20mm Tilt = -15 ~ 75도Accessory : EDS Detector N2 cleaner Plasma cleaner
