장비상세보기
문의번호 ( KIST 전북분원 )
- 예약문의 02-958-8144
- 장비문의 02-958-8144
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금
- 이용료 안내
- 이용방법
- 제작사명 FEI
- 모델명 Helios 650
- 구축일자 2013-07-13
- 사용용도 none
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
- 6대 탄소소재
- 설치장소 한국과학기술연구원 전북분원 연구동
사용/활용예
- 사용/활용예 시편제작 - FIB로 TEM sample 3 Dimensional Atom Probe sample 제작sample 의 3차원 가공 및 구조 성분의 입체적 분석 또한 가능하며 EBSD를 이용한 재료의 미세조직집합조직의 분석을 할수 있다. 거기에 sample의 3차원 EBSD를 FIB와 연동하여 사용할수 있고EDS를 이용하여 sample의 정성 분석 또한 용이하다.
- 장비설명 Focused Ion Beam을 이용하여 TEM preparation 및 cross section 관찰을 위한 시편 준비를 할수 있으며 EDS와 EBSD를 동시에 이용가능하며 FIB EDAX와 EBSD를 이용하여 시편의 한가지 방향성을 알고 있다면 그 방향성에 해당하는 시편 부분을 측정하여 3D 입체 영상으로 제작하는것 또한 가능한 장비이다.
- 구성 및 성능 SEM -Resolution : 1.4 nm (at 1kV) 0.9 nm (at 15kV)-Probe Current : 0.7pA ~ 22nA-Landing Energy Range : 30kV down to 350VFIB-Resolution : 5nm (at 30kV)-Prove Current : 1.5pA ~ 20nA-Landing Energy Range : 30kV down to 500VSample Stage : UP to 6 inch waferAccessory
