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비접촉 3차원 미세형상측정기

3D Microscope System

  • 시설장비활용번호 : Z-201812179510
  • 시설장비등록번호 : NFEC-2011-01-142394
  • 활용범위 : 공동활용서비스
  • 활용대상 : 기관외부활용
  • 예약방법 : 실시간예약
  • 관심장비등록 카달로그 메뉴얼
문의번호 ( 경북하이브리드부품연구원 )
  • 예약문의 054-330-8043
  • 장비문의 054-330-8043
  • 장비활용중개소
    (ZEUS)
    1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
  • 이용요금 조도 측정 30,000원/시간
  • 이용료 안내 조도 측정 30,000원/시간
  • 이용방법 장비담당자와 일정 및 방법 상담 후 진행
  • 제작사명 나노시스템
  • 모델명 NV-E1000
  • 구축일자 2007-11-30
  • 사용용도 시험
  • 탄소공정 시험/평가
  • 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
  • 6대 탄소소재 탄소섬유
  • 설치장소 (재)경북하이브리드부품연구원 본관
사용/활용예
  • 사용/활용예
  • 장비설명 1) 간섭신호를 해석하여 측정표면의 높낮이 단차측정 2) 금속/비금속/전자기판 표면형상의 고정도 측정 및 3D 형상화 3) 곡면 형상에 대한 표면거칠기 측정 4) 제품의 단차 측정 표면의 형상 및 거칠기의 값을 3차원 데이타로 표현 및 해석 가능
  • 구성 및 성능 1) 수직분해능 : PSI(최소 0.1nm) WSI(최소 0.5nm) 2) 측정범위(Z축) : PZT스캔범위(180㎛) 모터스캔범위(5mm) 3) 렌즈스캔배율 : 5X 10X 50X 4) 작업스테이지 : 100*100mm 5) 팁 틸티악 : 6도