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초고온진공로

High Temperature Purification Furnace

  • 시설장비활용번호 : Z-201812179946
  • 시설장비등록번호 : NFEC-2012-10-171760
  • 활용범위 : 공동활용서비스
  • 활용대상 : 기관외부활용
  • 예약방법 : 실시간예약
  • 관심장비등록 카달로그 메뉴얼
문의번호 ( 한국세라믹기술원 )
  • 예약문의 055-792-2760
  • 장비문의 055-792-2760
  • 장비활용중개소
    (ZEUS)
    1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
  • 이용요금 인건비+수도료+전기료+운영경비(추가비용신청가능)
  • 이용료 안내 인건비+수도료+전기료+운영경비(추가비용신청가능)
  • 이용방법 문의
  • 제작사명 (주)썸백
  • 모델명 모델명 없음
  • 구축일자 2012-06-28
  • 사용용도 생산
  • 탄소공정 성형
  • 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
  • 6대 탄소소재 탄소섬유 ,인조흑연
  • 설치장소 창업보육센터
사용/활용예
  • 사용/활용예
  • 장비설명 고순화처리가 가능한 초고온 진공로 사용온도 : 최고 2500℃ 상용 2300℃ 챔버 Working zone : 300 x 600 (L)/mm 발열체 : graphite heater (고순도) / 단열 : graphite felt (고순도) Temperature control : PID control / programmable controller / 열전대 2-color pyrometer 사용분위기 : 진공 (~ 510-3 Torr dry pump 사용) / Ar N2 HCl 혹은 Cl2 (Ball Flowmeter)
  • 구성 및 성능 1. 챔버 1) 수냉 double wall 구조 2) 내식성 내부재질 : SUS316L 내식성(Teflon) 표면처리 3) 크기 : Working zone 확보 가능한 설계치 제시 4) 전면 door 방식 후면 maintenance door door clamp 5) 내부관측 port 열전대 port pyrometer port 6) Gas in/out port bypass port 전극 port spare port 등 2. 발열체 및 단열재 1) 발열체 : 고순도 graphite heater (금속불순물 25ppm 이하) 고순도 graphite muffle (금속불순물 25ppm 이하) 2) 단열재 : 고순도 graphite rigid felt (금속불순물 25ppm 이하) - 단열재 외벽 온도 : 챔버 내벽 내식성코팅 사용가능온도까지 * 고순도 graphite 소재의 제조사 제공 성분성적서 첨부 3) Working zone : □ 300 x 600 (L)/mm 4) 승온속도 : 최대 10℃/min.