장비상세보기
문의번호 ( 한국생산기술연구원 )
- 예약문의 054-630-0807
- 장비문의 054-630-0807
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금 직접비+간접비
- 이용료 안내 직접비+간접비
- 이용방법 상담 후 예약
- 제작사명 Carl Zeiss
- 모델명 GeminiSEM 300
- 구축일자 2018-12-26
- 사용용도 분석
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
- 6대 탄소소재 탄소섬유 ,활성탄소 ,인조흑연 ,카본블랙,탄소나노튜브,그래핀
- 설치장소 High-Tech베어링시험센터
사용/활용예
- 사용/활용예
- 장비설명 1. 장비명: 전계 방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope) 2. 장비원리 및 특성 - 전계 방사형 주사전자현미경은 전자총에서 방출된 전자를 가속시켜 시료 표면에 주사하여 시료와 상호작용으로 발생되는 전자 신호들을 수집하여 모니터의 밝기로 변조시켜 고해상도의 이미지를 얻고 여러 가지 신호들을 다양한 검출기들 (BSD, EDS, EBSD)로 검출함으로 시료의 표면 형태, 구조, 조성적 특성을 밝히는 장비이다. - 전자 컬럼을 이용하여 컬럼과 시편 사이에 장착해야만 했던 검출기 등을 컬럼 내부로 넣는 In-lens형 검출기로 장착하여 높은 해상도를 관찰할 수 있는 충분한 짧은 작업 거리를 확보할 수 있으며 짧은 작업 거리 확보로 인하여 강한 에너지를 가진 전자에 약한 시편들을 약한 에너지의 전자로 관찰할 수 있어 최상의 영상을 얻을 수 있다. - 후방산란전자검출기가 컬럼 내부에 장착되어 잇어 Z CONTRAST에 의한 차이뿐만 아니라 전자의 결합구조, 에너지 상태에 차이를 동일 원소라도 관찰할 수 있는 시편의 원소조성에 따른 명암대비와 나노 파티클의 분석에 유리다
- 구성 및 성능 1. Basic Unit of FESEM (1) Performance 1) Resolution: 0.7 nm at 15 kV 1.2 nm at 1 kV - 4 nm resolution imaging of dia-, para-, or ferromagnetic samples @ WD = 2 mm, AV = 20V - High resolution imaging of ferromagnetic steel @ WD=3 mm; AV = 1 kV @ 100,000x Mag. 2) Acceleration Voltage Range: 0.02kV to 30kV Adjustment: continuously variable in 10 Volt steps Imaging at beam energies down to 20 V without sample biasing should be possible. 3) Probe current Range : 5pA to 100nA Stability: 0.2%/h 4) Magnification Range: 12x to 2,000,000x The magnification accuracy must be 1% 2. Electron Optics 50mm, Depending on operation conditions (4) Rotation Compensation Automatic correction of apparent image rotation with changes in working distance 3. Chamber and Stage (1) Specimen Chamber 1) Dimensions: 330mm inner diameter 2) Three accessory ports for EDS analytic applications with take-off angle of 35 3) Analytical Working Distance: 8.5mm (2) Specimen Stage 1) Type: 5-axis motorized eucentric 2) Mounting: Drawer type door. 3) Movements : X= 70mm Y = 50mm Z = 41mm T = -5 to 70 R = 360 continuous 3um repeatability in x/y at 0 tilt 4) Specimen Weight: 0.5kg 4. EBSD System (1) High resolution and performance CCD or CMOS Camera Native image resolution : 640 x 480 pixels 12bit CCD Camera Sensitivity : High indexing rates at high acquisition speed even on deformed materials or Materials with a low electron scattering yield Pattern streaming with up to 945 patterns/s
