장비상세보기
문의번호 ( 한국재료연구원 )
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금 추후 협의
- 이용료 안내 추후 협의
- 이용방법 ZEUS 예약시스템을 통한 이용
- 제작사명 아텍시스템
- 모델명 모델명 없음
- 구축일자 2012-04-16
- 사용용도 시험
- 탄소공정 소재
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경
- 6대 탄소소재 탄소섬유
- 설치장소 재료연구소 연구2동
사용/활용예
- 사용/활용예
- 장비설명
- 구성 및 성능 1) 챔버 - 소재 : Quartz sus304 - 작업 진동도 : 1~500 torr - 최대가열온도 : 1200도(30분내 가열) 2) 가스공급부 -Gas : CH4 C3H8 H2 Ar N2 3) 진공 펌프 및 제어시스템 - 저진공 펌프 : Drypump 및 booster pump - Auto pressure control - safety valve - pirani gauge sensor 4) 시스템 제어부 - Touch Screen by PLC - Safety alarm and interlock 5) 부대시설 - 칠러 : 최대처리량 600liter - 개스캐비넷 : 3bottles 6) 기타 - 가동시간 ㅣ 공정 중단 없이 7일이상 연속가동이 가능 - 최대온도 1200도에서 100mtorr 이하의 진공 상태에서 공정가스를 투입하여 최고 700 torr까지 5초 이내에 승압한 후 가스공급을 중단하고 일정시간 유지후 30초 이내에 100mtorr이하로 진공을 유지하는 공정을 한 싸이클로 하는 펄스 공정을 만회 이상 가능
