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플라즈마 증착시스템

Plasma sputtering system

  • 시설장비활용번호 : Z-202207261132
  • 시설장비등록번호 : NFEC-2022-06-279752
  • 활용범위 : 공동활용서비스
  • 활용대상 : 기관외부활용
  • 예약방법 : 실시간예약
  • 관심장비등록 카달로그 메뉴얼
문의번호 ( 다이텍연구원 )
  • 예약문의 053-350-3782
  • 장비문의 053-350-3782
  • 장비활용중개소
    (ZEUS)
    1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
  • 이용요금 협의후 결정
  • 이용료 안내 협의후 결정
  • 이용방법 전화 및 이메일 문의
  • 제작사명 (주)바스텍
  • 모델명 VRC-1600-01A
  • 구축일자 2022-06-13
  • 사용용도 생산
  • 탄소공정 가공
  • 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
  • 6대 탄소소재 탄소섬유 ,그래핀
  • 설치장소 D동
사용/활용예
  • 사용/활용예
  • 장비설명 - Pilot 이상의 원단에 대한 금속 증착이 가능하여 연구개발, 시제품생산지원 및 사업화 검증 등에 대한 지원 가능 - 기존 전해/무전해도금 방식과는 차별화된 플라스마 스퍼터(Sputter) 방식으로 고체 금속을 기상화하여 박막 증착하는 공정으로 유해 화학물질 및 폐유기물 처리가 없는 친환경 가공이며, 섬유소재에 특화하여 도입 예정인 혁신 장비 - 금속(Al, Cu, Alloy 등)을 유기섬유 원단에 박막 증착을 통해 의료용, ICT, 운수송, 헬스케어 등 다양한 분야에 적용이 가능하고, 전도성 섬유, 전극 전지재료, 분리막, 청정용 필터 분야 응용 제품으로 확장 가능
  • 구성 및 성능 1) 기재(Substrate) - 기재 타입 : 섬유, 필름 - 기재 두께 : 50~200㎛ - 작업 폭 : max. 1,600mm 2) 와인딩 part - 작업 속도 : 0~7m/min. - 코팅 드럼 : 1EA - 텐션 롤러 : 2EA(와인딩, 언와인딩 롤러 각 1EA) - 권취 직경 : max.500mm 3) 전처리(Pre-treatment) part - Pre-heating : MIR Heater - 전처리 : DC-bombardment 1개소 - 적용 가스 물질 : Ar, O2 4) 스퍼터링 10-6Torr - 기저압력 도달시간(무 부하시) : 4시간 이하