장비상세보기
문의번호 ( 한국생산기술연구원 )
- 예약문의 051-309-7437
- 장비문의 051-309-7437
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장비활용중개소
(ZEUS) 1670-0925 ※ 운영시간 (09:00~18:00)
이용 요금
- 이용요금 협의후 결정
- 이용료 안내 협의후 결정
- 이용방법 담당자협의
- 제작사명 Hitachi
- 모델명 S-4800
- 구축일자 2009-07-16
- 사용용도 시험
- 탄소공정 시험/평가
- 5대수요산업 모빌리티 ,에너지환경 ,라이프케어 ,방산·우주·항공 ,건설
- 6대 탄소소재 탄소섬유 ,활성탄소 ,인조흑연 ,카본블랙,탄소나노튜브,그래핀
- 설치장소 부산테크노파크 디지털생산기술혁신센터
사용/활용예
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사용/활용예
○ 사용예 및 활용분야 - 시료분석용 - 아주 미세한 Gun Electron Source (전자원)으로 부터 인가된 일차 전자가 시료에 조사되면서 이 때 발생되는 다양한 전자 (Secondary Electron Back-scattered Electron Cathode Luminescence etc.)를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대 관찰. - 일반 광학현미경과 비교하여 분해능과 집점 심도가 우수하여 sample의 표면관찰.
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장비설명
○ 원리 및 특징 - 소재대상의 고분해능 미세조직 조사 (시료의 형태 미세구조의 관찰 구성원소의 분포 정성 정량 분석) - 분해능: 1.0nm(15kv) - 배율: 20~80만배 - 가속전압 : 0.1V~30kV - EDS부착
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구성 및 성능
○ 구성 및 성능 - 구성: 성능:분해능:2.5 nm (at 30kv)15 nm (at 1kv)/가속전압 : 1 - 30 kv/배율 : 5 - 300000/Backscattered electron detecting 가능/Energy dispersive X-ray analyzer (EDS)/Wave length dispersive X-ray analyzer (WDS) - 분해능력 : 가속전압 15kV에서 1.0nm 이상 / 1kV에서 1.4nm 이상 - 배율 : 20배에서 80만배 이상 - 전자 광학계 a) 전자총 : 상온 전계방사형 전자총 b) 가속전압 : 0.1V에서 30kV 이상 c) 렌즈 시스템 : 3단 전자계 렌즈 줌 리덕션 형 d) 대물렌즈 조리개 : 4구경 이동식 조리개 또는 고정형 e) 검출기 : 상단 2차 전자 검출기 (이차전자 반사전자 별도 검출 시스템)
